气体质量流量控制器

特点

☆用于多种气体质量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等
☆测量范围：从0-5sccm 至 0-1500slm
☆精度：1.0%F.S.
☆量程比：最小100:1
☆重复性：0.25%
☆响应时间：1.0S
☆过程温度：0-50℃
☆过程压力：0-8MPa
☆供电：24VDC
☆输出：0-5V,4-20mA,RS232
☆管道材质：316L
☆连接标准：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸